产品规格: 长宽高(W×L×H) 100×500×45 mm 100×750×45 mm 100×1000×45 mm 使用流体 空气(非腐食,不燃性气体) 周围温度 23±10 ℃ 给油 不可 额定空气压范围 30~400 kPa 平面度 60(被测定物及环境温度在23℃下)μm 平行度 80(被测定物及环境温度在23℃下)μm 保管温度 0~+50 ℃ 特性: *自设计 运用空气技术实现高精度浮上 稳定的浮上精度 让曝光和检查过程中的玻璃基板实现稳定浮上 用途: 曝光和检查过程中玻璃的搬运 公司名称:前海合盛精工实业(深圳)有限公司 公司地址:深圳宝安 公司网址: